最近、ターボ分子ポンプについている真空計が正常に動作しなくなった。正確にはピラニーゲージぐらいの真空度までは正常なのだが、高真空領域になってコールドカソードに切り替わると値が変化しなくなるのだ。

コールドカソードゲージのセンサが汚れている可能性が大なので、業者にメンテ代をたずねると約１０万円といわれたので、とりあえず自分で分解して洗浄してみる事にした。
特にこのキャノンアネルバ製の真空計はメンテしやすいようになっており、細かいパーツが色々あるけど、工具さえあれば非常に簡単に分解できる。

センサ内部をみると、電極部分に結構な量の油と金属屑、そしてススが付着していた。ススはよいとして、この油と金属屑はどこから来たのやら。。。
とりあえず、油と屑はエタノールで洗浄して、付着したススは研磨スポンジでゴシゴシ取り除いた。でも、電極の一部である薄い金属片は洗浄不可との事なので、ボロボロだけどこいつはノータッチ（交換が必要かも）。

洗浄後、組み立て直して動作チェックをしてみたところ、無事、高真空側も動作するようになった。でも、較正が必要な気がする。
とりあえず、１０万円コースは避けられたのでハッピーだ。